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J-GLOBAL ID：200903094684937030
微分干渉顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
猪熊 克彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997137595
Publication number (International publication number)：1998104524
Application date： May. 12, 1997
Publication date： Apr. 24, 1998
Summary：
【要約】【課題】精密に物体の凹凸を測定することができる微分干渉顕微鏡を提供する。【解決手段】光源10からの光を偏光子12と複屈折プリズム15の順に導き、複屈折プリズムによって分離した常光線と異常光線を対物レンズ16に導き、対物レンズを透過した常光線と異常光線によって試料17をテレセントリックに照明し、試料によって反射した常光線と異常光線を対物レンズ16と複屈折プリズム15の順に導き、複屈折プリズムによって合成された光を検光子18に導き、検光子を透過した光の結像位置にCCD21を配置した微分干渉顕微鏡において、検光子18と偏光子12とのいずれか一方を光軸周りに回転可能に配置し、検光子と偏光子とのいずれか一方の3つ以上の回転角ごとに且つCCDの1画素ごとに光量を測定し、光量を回転角に関してフーリエ変換することにより、試料の振幅反射率分布又は表面形状を測定可能としたことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
光源からの光を偏光子と複屈折プリズムの順に導き、該複屈折プリズムによって分離した常光線と異常光線を対物レンズに導き、該対物レンズを透過した前記常光線と異常光線によって試料をテレセントリックに照明し、該試料によって反射した前記常光線と異常光線を前記対物レンズと前記複屈折プリズムの順に導き、該複屈折プリズムによって合成された光を検光子に導き、該検光子を透過した光の結像位置にCCDを配置した落射照明型微分干渉顕微鏡において、前記検光子と偏光子とのいずれか一方を光軸周りに回転可能に配置し、検光子と偏光子との前記いずれか一方の3つ以上の回転角ごとに且つ前記CCDの1画素ごとに光量を測定し、該光量を前記3つ以上の回転角に関してフーリエ変換することにより、前記試料の振幅反射率分布又は表面形状を測定可能としたことを特徴とする落射照明型微分干渉顕微鏡。
IPC (2)：
FI (2)：
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