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J-GLOBAL ID：200903094718850592

膜厚測定機能付光学顕微鏡

Inventor： 岡本 陽一 ,  三木 智之 ,  森脇 武
Applicant, Patent owner： 株式会社キーエンス
Agent (1)： 山村 喜信
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995166898
Publication number (International publication number)：1996210818
Application date： Jun. 07, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】 試料の外観を観察することができると共に、深度に関する情報が得られ、かつ、膜厚の測定を行うことができる光学顕微鏡を提供する。【構成】 共焦点光学系の検出器として焦点位置にイメージセンサを配設し、試料ステージを対物レンズに対して相対的に上下動させたときのイメージセンサにおける1つの受光素子の受光光量の2つのピーク位置Zp1 ,Zp2 に基づいて膜厚を求める。

Claim (excerpt)：

対物レンズに対して相対的に上下動する試料ステージと、レーザ光を上記対物レンズにより試料の表面に集光すると共に、その反射光を検出器表面に集光して受光させて、上記反射光の強度に基づいて試料の深度に関する情報を検出する共焦点光学系と、上記レーザ光とは異なる観察用光源からの光で試料の外観を観察するための観察用光学系とを備えた光学顕微鏡において、上記共焦点光学系の検出器として焦点位置に配設されたイメージセンサと、上記試料ステージを対物レンズに対して相対的に上下動させたときの上記イメージセンサにおける1つの受光素子の受光光量の2つのピーク位置に基づいて膜厚を求める膜厚算出部とを備えたことを特徴とする膜厚測定機能付光学顕微鏡。

IPC (2)：

G01B 11/06 ,  G02B 21/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 共焦点走査方式レーザ顕微鏡を用いた厚み計測方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-076098   Applicant：石川島播磨重工業株式会社
• 特開昭63-063907