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J-GLOBAL ID:200903094746091915
微小穴開きガラス及びその製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (1):
小倉 亘
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999118965
Publication number (International publication number):2000313629
Application date: Apr. 27, 1999
Publication date: Nov. 14, 2000
Summary:
【要約】【目的】 材料内部に形成された微結晶析出域をエッチング除去して微小穴を開けた機能ガラスを得る。【構成】 金属イオンを含むガラス材料4の内部に集光点3が位置するように集光したパルスレーザ光1でガラス材料4を照射し、ガラス材料4内部で集光点3を相対移動させすることにより所定パターンの変質域を生成させる。レーザ照射後のガラス材料4を熱処理すると、変質域を核として微結晶が析出した領域5がガラス材料内部に選択的に形成される。微結晶析出域5をエッチング除去すると、内部に所定パターンで微小穴6の開いたガラスが得られる。
Claim (excerpt):
パルスレーザ光の集光照射による金属イオンの還元反応で生成した変質域を核とする微結晶析出域がエッチング除去され、微結晶析出域の跡に微小穴が材料内部に所定パターンで形成されている微小穴開きガラス。
IPC (3):
C03B 23/00
, C03C 15/00
, C03C 23/00
FI (4):
C03B 23/00
, C03C 15/00 F
, C03C 15/00 Z
, C03C 23/00 Z
F-Term (7):
4G059AA14
, 4G059AA15
, 4G059AB01
, 4G059AB05
, 4G059AC01
, 4G059BB04
, 4G059BB14
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