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J-GLOBAL ID：200903094753024549

積層型非晶質太陽電池の製造装置

Inventor： 白玖 久雄 ,  中川 誠 ,  西脇 秀則
Applicant, Patent owner： 三洋電機株式会社
Agent (1)： 鳥居 洋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995041117
Publication number (International publication number)：1996236795
Application date： Feb. 28, 1995
Publication date： Sep. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】 この発明は、装置コストの低減ならびに省スペース化が可能な積層型非晶質太陽電池の製造装置を提供することをその目的とする。【構成】 この発明は、pin構造を垂直方向に複数段積層してなる積層型非晶質太陽電池の製造装置において、センター真空チャンバ(1)の4つの側面に、このセンター真空チャンバ(1)の容積の2分の1以下で、かつ上下に位置する2つの真空チャンバ(2〜9)を各々配置したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

pin構造を垂直方向に複数段積層してなる積層型非晶質太陽電池の製造装置において、センター真空チャンバの4つの側面に、このセンター真空チャンバの容積の2分の1以下で、かつ上下に位置する2つの真空チャンバを各々配置したことを特徴とする積層型非晶質太陽電池の製造装置。

IPC (3)：

H01L 31/04 ,  H01L 21/205 ,  C23C 16/50

FI (4)：

H01L 31/04 T ,  H01L 21/205 ,  C23C 16/50 ,  H01L 31/04 W

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭58-093321
  
• 特開平4-240721
  
• 特開昭58-216475
  
• 特開平2-030759
  
• 特開昭60-175411