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J-GLOBAL ID：200903094803125597

ポリッシング装置における研磨クロスのドレッシング方法及び装置

Inventor： 木村 憲雄 ,  青木 克行 ,  舘石 久仁男 ,  安田 穂積
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 熊谷 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996294423
Publication number (International publication number)：1997168961
Application date： Oct. 16, 1996
Publication date： Jun. 30, 1997
Summary：

【要約】【課題】 研磨クロス面の適度な表面粗さを確保し、且つドレッシングにより研磨クロス面が直線的に削られるポリッシング装置における研磨クロスのドレッシング方法及び装置を提供すること。【解決手段】 回転する定盤の研磨クロス面に半導体ウエハ上面に形成されたデバイスパターンを当接し研磨平坦化するポリッシング装置の回転する該定盤の研磨クロス面上に回転するドレッサー下面を当接させ、該研磨クロス面をドレッシュするポリッシング装置における研磨クロスのドレッシング方法であって、定盤上面に貼付られた研磨クロスは発砲ポリウレタン研磨クロスであり、ドレッサー10はドレッサー本体11の下面に所定幅で微粒のダイヤモンドを電着させてなるダイヤモンド電着リング13を形成した構成であり、該ドレッサー10下面のダイヤモンド電着リング13を発砲ポリウレタン研磨クロス面に当接してドレッシュする。

Claim (excerpt)：

上面に研磨クロスが貼付られた定盤を具備し、回転する該定盤の研磨クロス面に半導体ウエハ上面に形成されたデバイスパターンを当接し研磨平坦化するポリッシング装置の回転する該定盤の研磨クロス面上に回転するドレッサー下面を当接させ、該研磨クロス面をドレッシュするポリッシング装置における研磨クロスのドレッシング方法であって、前記定盤上面に貼付られた研磨クロスは発砲ポリウレタン研磨クロスであり、前記ドレッサーはドレッサー本体の下面に所定幅で微粒のダイヤモンドを電着させてなるダイヤモンド電着リングを形成した構成であり、該ドレッサー下面のダイヤモンド電着リングを前記発砲ポリウレタン研磨クロス面に当接してドレッシュすることを特徴とするポリッシング装置における研磨クロスのドレッシング方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭64-071661
  
• 特開昭64-071661