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J-GLOBAL ID：200903094820763173

感光性組成物

Inventor： 青合 利明 ,  水谷 一良
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991007178
Publication number (International publication number)：1993011444
Application date： Jan. 24, 1991
Publication date： Jan. 22, 1993
Summary：

【要約】【構成】 下記一般式(I)で表わされる1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-及び/又は5-ジスルホニル基を有する繰り返し単位を少なくとも1モル%含む高分子化合物を含有するポジ型感光性組成物。 -CH2 -(A) C(-B-SO2 -SO2 -D)- (I)式中、Dは、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-イル基又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-イル基を示し、Aは水素原子又はアルキル基を示し、Bは単結合、二価の芳香族炭化水素、-CO-O-R1 -又は-CO-NR2 -R1 -を示し、R1 は二価の脂肪族又は芳香族炭化水素を示し、R2 は水素原子、アルキル基、アリール基又はアラルキル基を示し、nは1以上の整数を示す。【効果】 高感度であり、解像力に優れている。

Claim (excerpt)：

下記一般式(I)で表わされる1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-及び/又は5-ジスルホニル基を有する繰り返し単位を少なくとも1モル%含む高分子化合物を含有するポジ型感光性組成物。 -CH2 -(A)C(-B-SO2-SO2-D)- (I)式中、Dは、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-イル基又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-イル基を示し、Aは水素原子又はアルキル基を示し、Bは単結合、二価の芳香族炭化水素、-CO-O-R1- 、又は -CO-NR2-R1-を示し、R1 は二価の脂肪族又は芳香族炭化水素を示し、R2 は水素原子、アルキル基、アリール基又はアラルキル基を示し、nは1以上の整数を示す。

IPC (2)：

G03F 7/023 501 ,  H01L 21/027