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J-GLOBAL ID：200903094865089180

走査型トンネル顕微鏡用探針

Inventor： 横 塚 達 男
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 蔵合 正博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991200862
Publication number (International publication number)：1993045112
Application date： Aug. 09, 1991
Publication date： Feb. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡において、印加電圧を高く(5V以上)にしても安定に原子レベルの分解能を保つことのできる探針を容易に作成すること。【構成】 探針形状に形成された芯金101の表面に、炭化物、窒化物または酸化物のいずれかの金属材料による薄膜層102を形成して探針100を作成する。

Claim (excerpt)：

探針形状に形成された芯金の表面に、炭化物、窒化物または酸化物のいずれかの金属材料による薄膜層を有する走査型トンネル顕微鏡用探針。

IPC (2)：

G01B 7/34 ,  H01J 37/28