ダイヤモンド電子素子

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：藤巻正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995004351
Publication number (International publication number)：1996195486
Application date： Jan. 13, 1995
Publication date： Jul. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】高温下における電極又は配線の剥離等による電気特性の変化を抑制できる素子構造を有し、高温下においても安定に動作するダイヤモンド電子素子を提供する。【構成】基板16上に、多結晶シリコン等のシリコンを含有する物質を用いて一体的に形成された少なくとも一組の電極11及び配線が形成されており、これらの電極11及び配線は被覆材14により被覆されて外界から保護されている。

Claim (excerpt)：

少なくとも一組以上の電極及びそれに接続される配線がシリコンを含む物質で一体的に形成されたダイヤモンド電子素子において、前記電極及び配線の少なくとも一部が絶縁性材料で被覆されていることを特徴とするダイヤモンド電子素子。

IPC (8)：

H01L 29/43 , H01L 21/56 , H01L 21/3205 , H01L 29/78 , H01L 29/861 , H01L 33/00 , H01L 41/00 , H01L 43/06

FI (4)：

H01L 29/46 B , H01L 21/88 Q , H01L 29/78 301 X , H01L 29/91 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (15)

耐熱性オーミック電極を備えたダイヤモンド薄膜及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-104766 Applicant：株式会社神戸製鋼所
特開平3-058480
特開平3-029380

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