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J-GLOBAL ID：200903094920659012

走査型磁気顕微鏡

Inventor： 冨田 司 ,  吉田 佳一
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 喜多 俊文 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001238553
Publication number (International publication number)：2003050229
Application date： Aug. 07, 2001
Publication date： Feb. 21, 2003
Summary：

【要約】【課題】被測定物から発生する磁場および磁場の変化の検出効率および雑音除去機能を高め、検出感度を向上した走査型磁気顕微鏡を提供する。【解決手段】レーザ光源7を被測定物4に対してピックアップコイル3の側に配設するとともに真空断熱壁1、2には透明窓WA、WB、WC、WDをはめこむ。照射されたレーザ光Lは磁気検出装置の検出部であるピックアップコイル3の中空部分を通過し被測定物4の表面を照射するので、被測定物4の表面で励起された被測定物4の局所的な磁場および磁場の変化を、ピックアップコイル3により効率よく検出することが可能になる。

Claim (excerpt)：

被測定物を保持しその位置を移動させるサンプルステージと、サンプルステージに保持された被測定物に電磁波または荷電粒子線を照射し磁場を励起させる照射源と、被測定物に励起された磁場および磁場の変化を検出する磁気検出装置の検出部であるピックアップコイルを備えた走査型磁気顕微鏡において、前記照射源を被測定物に対して前記ピックアップコイルの側に配設し前記電磁波または荷電粒子線が前記磁気検出装置の検出部であるピックアップコイルを通過して被測定物に照射されることを特徴とする走査型磁気顕微鏡。

IPC (2)：

G01N 27/72 ZAA ,  G01R 33/035

FI (2)：

G01N 27/72 ZAA ,  G01R 33/035

F-Term (8)：

2G017AA13 ,  2G017AD32 ,  2G053AA30 ,  2G053AB27 ,  2G053CA10 ,  2G053DA01 ,  2G053DA10 ,  2G053DB10