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J-GLOBAL ID：200903094921993412

ティーチング方法、電子基板検査方法、および電子基板検査装置

Inventor： 東 昇 ,  永井 大介
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 早瀬 憲一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002194140
Publication number (International publication number)：2004037222
Application date： Jul. 03, 2002
Publication date： Feb. 05, 2004
Summary：

【課題】設定したティーチングデータの妥当性を3次元空間にて視覚的に確認できるティーチング方法を提供する。【解決手段】3次元形状を測定することが可能な形状測定手段を用いて測定対象を計測した3次元形状データに基づいてディスプレイ上に測定対象の画像を表示し、表示された測定対象の画像を用いて、測定対象中で検査の対象となる被検体を検査するために用いる検査情報を設定するティーチング方法において、検査情報の設定後に、上記計測した3次元形状データと上記設定された検査情報のうち、少なくとも1つ以上のデータを3次元画像表示するようにした。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

測定対象の3次元形状を測定することが可能な形状測定手段により測定対象を計測し、該計測した3次元形状データに基づいてディスプレイ上に測定対象の形状画像を表示する計測表示ステップと、 上記計測表示ステップで表示された測定対象の形状画像を用いて、測定対象中の検査対象である被検体を検査するために用いる検査情報を設定するティーチングステップと、 上記計測表示ステップにおいて計測,表示した3次元形状データと、上記ティーチングステップにおいて設定した検査情報のうち、少なくとも1つ以上のデータを3次元画像表示する3次元画像表示ステップとを含む、 ことを特徴とするティーチング方法。

IPC (5)：

G01B11/24 ,  G01N21/956 ,  G06T1/00 ,  G06T7/60 ,  H05K3/34

FI (6)：

G01B11/24 K ,  G01N21/956 B ,  G06T1/00 305D ,  G06T1/00 315 ,  G06T7/60 150S ,  H05K3/34 512B

F-Term (55)：

2F065AA53 ,  2F065AA61 ,  2F065BB05 ,  2F065BB15 ,  2F065CC01 ,  2F065CC26 ,  2F065FF09 ,  2F065GG04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ16 ,  2F065LL04 ,  2F065QQ32 ,  2F065RR03 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051BA10 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051EA12 ,  2G051FA01 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB13 ,  5B057CB17 ,  5B057CE08 ,  5B057CE15 ,  5B057DA03 ,  5B057DA08 ,  5B057DA17 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB09 ,  5B057DC09 ,  5B057DC22 ,  5B057DC39 ,  5E319AA03 ,  5E319AC01 ,  5E319BB05 ,  5E319CC33 ,  5E319CD53 ,  5E319GG15 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096DA02 ,  5L096FA02 ,  5L096FA64 ,  5L096GA43