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J-GLOBAL ID：200903094922950911

スタンパーの製造方法

Inventor： 山口 豊
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993137334
Publication number (International publication number)：1994349115
Application date： Jun. 08, 1993
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】半径方向に凹凸パターン深さのバラツキが小さな、大口径ディスク成形用スタンパーを提供する。【構成】スタンパーの製造工程の1工程である、ドライエッチング工程のエッチングガスのガス圧を、0.6Pa以下に設定する。

Claim (excerpt)：

ガラス原盤上にポジ型フォトレジストを塗布する工程と、所定の溝または信号パターンを露光する工程と、アルカリ性現像液で現像することにより、露光部分のフォトレジストを溶解除去して、レジスト凹凸パターンを形成する工程と、エッチングガスでドライエッチングする工程、および残留したレジストを除去する工程からなる大口径ディスク成形用スタンパーの製造方法において、前記ドライエッチング工程の条件として、エッチングガスのガス圧を0.6Pa以下に設定することにより、半径方向の凹凸パターン深さのバラツキを低減したことを特徴とする前記大口径ディスク成形用スタンパーの製造方法。