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J-GLOBAL ID：200903094926268236

光偏向器

Inventor： 奥村 実紀雄
Applicant, Patent owner： 日本ビクター株式会社
Agent (1)： 三好 秀和 (外9名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999034967
Publication number (International publication number)：2000235152
Application date： Feb. 12, 1999
Publication date： Aug. 29, 2000
Summary：

【要約】【課題】 大きな光偏向角度が得られ、且つ高速で偏向が可能な、信頼性の高いマイクロ光偏向器を得ることのできる電磁駆動光偏向器を提供する。【解決手段】 トーションビーム光偏向器100は、内側のy軸方向偏向部103と、外側のx軸方向偏向部104とから構成されている。特に、内側のy軸方向偏向部103は、溝部2を有する基板1と、溝部2に架け渡された軸部3aによって基板1に対して回動可能に軸支される回動板3と、磁性部に臨むように基板1上に薄膜として設けられる一対の薄膜電磁石部51、52と、回動板3面上に取り付けられたミラー部4とから概略構成される。

Claim (excerpt)：

溝部を有する基板と、前記溝部に架け渡された軸部によって前記基板に対して回動可能に軸支されるとともに、硬磁性薄膜を有する回動板と、前記回動板に臨むように、前記基板上に、前記軸部と直交し且つ薄膜として設けられる一対の薄膜電磁石部と、前記回動板面上に設けられるミラー部とからなる第1方向偏向部とを有し、前記薄膜電磁石部に生ずる磁界と、前記硬磁性薄膜に生ずる磁界との間に生ずるクーロン力で前記回動板を回動させ、この回動板の傾斜によってミラー部に照射された光を偏向させることを特徴とする光偏向器。

IPC (2)：

G02B 26/08 ,  G02B 26/10 104

FI (2)：

G02B 26/08 E ,  G02B 26/10 104

F-Term (6)：

2H041AA11 ,  2H041AB14 ,  2H041AC04 ,  2H041AZ02 ,  2H045AB02 ,  2H045AB13