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J-GLOBAL ID：200903094927482819

照射用電子線を有する顕微鏡

Inventor： フリッツ ユルゲン ホーン
Applicant, Patent owner： ライカ ミクロジュステムス ヴェツラー ゲーエムベーハー
Agent (1)： 加藤 朝道 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001041752
Publication number (International publication number)：2001236917
Application date： Feb. 19, 2001
Publication date： Aug. 31, 2001
Summary：

【要約】【課題】 電子顕微鏡及び光学的顕微鏡の併用に際し種々の倍率又は照射方法を迅速かつ単純に切り替えること。【解決手段】 顕微鏡(2)の全体構造は、従来の顕微鏡の構造と本質的に類似している。顕微鏡(2)は、上に支柱(6)を有する支持部(4)を含む。支柱(6)には、支持アーム(8)が取付ないし形成されている。リボルバ(20)上には、対物レンズ(18)及び(22)が配置されており、そのうち1以上は電子線対物レンズである。

Claim (excerpt)：

光学ユニット(12)が光軸(16)を規定する顕微鏡(2)において、該光軸(16)上に配置可能な少なくとも1つの対物レンズ(22)が、電子線対物レンズ(28、42)として形成されている、ことを特徴とする顕微鏡。

IPC (4)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/16 ,  H01J 37/18 ,  H01J 37/28

FI (4)：

H01J 37/22 502 L ,  H01J 37/16 ,  H01J 37/18 ,  H01J 37/28 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平2-064401
  
• 特開昭51-042461