Pat
J-GLOBAL ID:200903094950006250
電気光学装置の製造方法および電子機器
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 須澤 修
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002328294
Publication number (International publication number):2004163598
Application date: Nov. 12, 2002
Publication date: Jun. 10, 2004
Summary:
【課題】電気光学装置の高精度化を可能とする電気光学装置の製造方法および電子機器を提供すること。【解決手段】第1の基板10および第2の基板20を対向配置した際に、第1の基板10および第2の基板20に対して光軸30Aが直交するように配置したカメラ30によって、第1の基板10に設けた第1のマーク10aと、第2の基板20に設けた第2のマーク20aとを撮像し、この撮像した第1のマーク10aおよび第2のマーク20aの位置関係に基づいて、第1の基板10および第2の基板20を互いにアライメントする液晶パネルの製造方法であって、カメラ30,30′の焦点に第2のマーク20aを合わせた状態で撮像した後に、カメラ30,30′の焦点に第1のマーク10aが合うように、第1の基板10を光軸30A,30A′に沿って移動させた状態で、第1のマーク10aを撮像するようにした。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
第1の基板および第2の基板を対向配置し、撮像装置を用いて前記第1の基板および前記第2の基板を互いにアライメントする電気光学装置の製造方法であって、
前記第1の基板および前記第2の基板に対して撮像光学系の光軸が所定の交差角度で交差するように配置し、
前記撮像装置の焦点に前記第1のマークが合うように前記第1の基板を移動させて、前記撮像装置により前記第1のマークを撮像し、
前記撮像装置の焦点に前記第2のマークが合うように前記撮像装置および前記第2の基板の少なくとも一方を前記光軸に沿って移動させて、前記撮像装置により前記第2のマークを撮像し、
前記撮像装置の撮像結果に基づいて前記第1の基板もしくは前記第2の基板をアライメントすることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
IPC (4):
G02F1/1333
, G02F1/13
, G06T1/00
, G09F9/00
FI (4):
G02F1/1333 500
, G02F1/13 101
, G06T1/00 305C
, G09F9/00 338
F-Term (24):
2H088FA04
, 2H088FA09
, 2H088FA16
, 2H088FA24
, 2H088FA30
, 2H088HA10
, 2H088MA16
, 2H090JC12
, 2H090JC17
, 2H090JC18
, 2H090LA04
, 5B057AA03
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057DA07
, 5G435AA04
, 5G435AA17
, 5G435BB12
, 5G435CC09
, 5G435CC12
, 5G435EE37
, 5G435GG12
, 5G435KK05
, 5G435KK10
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
-
液晶表示装置の製造装置及び製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-075175
Applicant:株式会社東芝
-
複数の部材の貼り合わせ方法及び装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-230043
Applicant:キヤノン株式会社
-
基板の組立て装置及び組立て方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-066834
Applicant:株式会社東芝
-
位置ずれ検出装置及びそれを用いた位置決め装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-079403
Applicant:株式会社モリテックス
-
基板の位置合わせ方法および装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-297519
Applicant:株式会社東芝
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Cited by examiner (5)
-
複数の部材の貼り合わせ方法及び装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-230043
Applicant:キヤノン株式会社
-
液晶表示装置の製造装置及び製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-075175
Applicant:株式会社東芝
-
基板の組立て装置及び組立て方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-066834
Applicant:株式会社東芝
-
位置ずれ検出装置及びそれを用いた位置決め装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-079403
Applicant:株式会社モリテックス
-
基板の位置合わせ方法および装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-297519
Applicant:株式会社東芝
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