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J-GLOBAL ID：200903094961409870

表面欠陥検査装置

Inventor： 住江 伸吾 ,  西元 善郎
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991240464
Publication number (International publication number)：1993052764
Application date： Aug. 26, 1991
Publication date： Mar. 02, 1993
Summary：

【要約】【目的】 付着異物の形状にかかわらず、正確に凹状欠陥と付着異物とを弁別することができる表面欠陥検出装置を得る。【構成】 ガラス基板31に対し入射角度(θi =16 ゚)でs偏光入射光2を入射し、正反射方向に対し反射角(θs =30 ゚)の位置に低角度集光レンズ33を配置して、入射した光のp偏光成分の電気信号ILPを演算器51に、全体の光成分IL を演算器51及び52に出力する。一方、正反射方向に対し反射角(θs ′=60 ゚)の位置に高角度集光レンズ34を配置して、入射した全体の光成分IH を演算器52に出力する。演算器51及び52は、弁別パラメータA(=ILP/IL )及びB(=IH /IL )をそれぞれ算出し、弁別ロジック53に出力する。そして、弁別ロジック53は弁別パラーメータA及びBに基づき、凹状欠陥と付着異物との弁別を正確に行う。

Claim (excerpt)：

被検査体の表面に存在する凹状欠陥の検査を光学的に行う表面欠陥検査装置であって、前記被検査体の表面に対し第1の角度でビ-ム光を照射する照射手段と、受光角度が前記ビ-ム光の正反射方向に対し比較的小さい第2の角度に設けられ、前記ビ-ム光の散乱光を第1の検出光として受光する第1の受光手段と、受光角度が前記ビ-ム光の正反射方向に対し比較的大きい第3の角度に設けられ、前記ビ-ム光の散乱光を第2の検出光として受光する第2の受光手段と、前記第1の検出光におけるp偏向成分の光強度と前記第1の検出光に対する前記第2の検出光の光強度比とに基づき、前記被検査体における前記凹状欠陥と付着異物との弁別を行う弁別手段とを備えた表面欠陥検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G03F 1/08