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J-GLOBAL ID：200903094968013696

放射線センサ素子を製造するための方法

Inventor： トム レオング ナム ,  レックス ジェームス ケディ ,  ヨハン フランズ プリンズ
Applicant, Patent owner： デ ビアス インダストリアル ダイアモンド デイビジヨン (プロプライエタリイ) リミテツド
Agent (1)： 浅村 皓 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994190384
Publication number (International publication number)：1995167959
Application date： Aug. 12, 1994
Publication date： Jul. 04, 1995
Summary：

【要約】【目的】 電離放射線センサ素子用の合成ダイヤモンド材料の窒素濃度を低くすること。【構成】 放射線センサ素子を製造するための方法では窒素不純物濃度が150ppm未満である合成ダイヤモンド材料から成るダイヤモンド本体を設ける。このダイヤモンド本体は一般に、高温/高圧法または化学的気相法により製造された合成ダイヤモンドである。このダイヤモンド本体は、水素原子がダイヤモンド結晶の格子内に水素原子を混入するように水素化される。この水素化は、イオン注入またはダイヤモンド本体に水素プラズマを照射することにより実施される。センサ素子をカウント用ダイヤモンドとして使用する場合、例えばイオン注入により、ダイヤモンド本体上に電気接点を形成する。

Claim (excerpt)：

電子スピン共鳴(ESR)技術により測定された窒素不純物濃度が150ppm以下である結晶質ダイヤモンド材料から成るダイヤモンド本体を設け、このダイヤモンド本体を水素化し、ダイヤモンド結晶の格子内に水素原子を混入する工程を備えた放射線センサ素子を製造するための方法。