Pat

J-GLOBAL ID：200903095008605250

反射板及びその製造方法

Inventor： 経塚 信也 ,  山本 滋 ,  氷治 直樹
Applicant, Patent owner： 富士ゼロックス株式会社
Agent (1)： 阪本 清孝 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994077869
Publication number (International publication number)：1995270604
Application date： Mar. 25, 1994
Publication date： Oct. 20, 1995
Summary：

【要約】【目的】 反射型液晶表示装置に使用される反射板において、反射特性が良好な反射板を再現性よく得る。【構成】 一方の面に多数の微細な凸部2が形成された基板1上に反射層3を被覆して成る反射板10において、前記凸部2は、上層ほどエッチングレートが大きくなるようにエッチングレートの異なる複数の層から成る多層膜20を、同一エッチング液でパターニングして形成し、凸部2の側面と基板面とのなす傾斜角度を微細加工に適したフォトリソ法によるパターニングで決定するように構成する。

Claim (excerpt)：

一方の面に多数の微細な凸部が形成された基板上に反射層を被覆して成る反射板において、前記凸部は、上層ほどエッチングレートが大きくなるようにエッチングレートの異なる複数の層から成る多層膜を、同一エッチング液でパターニングして形成することを特徴とする反射板。

IPC (2)：

G02B 5/02 ,  G02F 1/1335 520

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-243226
  
• 特開昭59-139002
  
• 特開平4-243226
  
• 特開昭59-139002