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J-GLOBAL ID：200903095069862663
電子ビーム描画装置のエアロックバルブ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998083861
Publication number (International publication number)：1999283550
Application date： Mar. 30, 1998
Publication date： Oct. 15, 1999
Summary：
【要約】【課題】 ビームの散乱を防止し、長時間の描画が可能となる電子ビーム描画装置のエアロックバルブを提供することを課題とする。【解決手段】 電子銃室11のビーム出射穴12とレンズ室15のビーム入射穴16との間に設けられ、電子銃室11のビーム出射穴12を閉じることにより電子銃室11内の真空状態を維持する電子ビーム描画装置のエアロックバルブであって、電子銃室11のビーム出射穴12を隠蔽可能な弁座35と、電子銃室11のビーム出射穴12とレンズ室15のビーム入射穴16とを連通可能な筒部材37と、弁座35,筒部材37を駆動するエアシリンダ(駆動手段)33とから構成する。
Claim (excerpt)：
電子銃室のビーム出射穴とレンズ室のビーム入射穴との間に設けられ、前記電子銃室のビーム出射穴を閉じることにより前記電子銃室内の真空状態を維持する電子ビーム描画装置のエアロックバルブであって、前記電子銃室のビーム出射穴を隠蔽可能な弁座と、前記電子銃室のビーム出射穴と前記レンズ室のビーム入射穴とを連通可能な筒部材と、前記弁座,前記筒部材を駆動する駆動手段と、からなることを特徴とする電子ビーム描画装置のエアロックバルブ。
IPC (5)：
H01J 37/305
, G03F 7/20 504
, G21K 5/04
, H01J 37/18
, H01L 21/027
H01J 37/305 B
, G03F 7/20 504
, G21K 5/04 M
, H01J 37/18
, H01L 21/30 541 B
