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J-GLOBAL ID：200903095074545773
直動機構を持つ処理容器を備えた処理装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
後藤 洋介 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997107472
Publication number (International publication number)：1998296071
Application date： Apr. 24, 1997
Publication date： Nov. 10, 1998
Summary：
【要約】【課題】 処理対象物の加熱による熱歪の影響を受けにくく、処理容器内における微小なごみの発生を抑制できる処理容器を備えた処理装置を提供すること。【解決手段】 両端が処理容器1の壁を貫通して外部に至る2本の駆動用支軸2a、2bを有し、その両側には、これらを容器内で並進移動させるためのリニアモータ4a、4bを設ける。容器内では、基板8の保持台6を駆動用支軸で支持する。駆動用支軸が容器の壁を貫通する箇所では、容器内の気密性を保つように真空ベローズ5a、5bを設ける。保持台は、2本の駆動用支軸に設けられた支持部材によりその移動方向の一端部及び反対側の他端部において支持されており、しかも一端部における支持部材は、その支持面上で保持台が自由に移動可能であるように支持し、他端部における支持部材は、軸受を介して保持台に取り付けられている。
Claim (excerpt)：
気密状態を維持される処理容器と、前記処理容器内に配置され、両端がそれぞれ前記処理容器の壁を貫通して外部まで導出された2本の駆動用支軸と、前記2本の駆動用支軸が前記処理容器の壁を貫通する箇所において、前記2本の駆動用支軸がその軸方向に並進移動可能なように、かつ前記処理容器内の気密性が保たれるように、前記処理容器内と外部とを隔離する気密機構と、前記2本の駆動用支軸の少なくとも一端側に取り付けられ、前記2本の駆動用支軸をそれぞれ前記処理容器に対して独立して軸方向に移動させることのできる2つの駆動機構と、前記処理容器内において、前記2本の駆動用支軸で支持され、処理対象物を保持する保持台とを含み、前記保持台は、前記2本の駆動用支軸に設けられた支持部材によりその移動方向の一端部及び反対側の他端部において支持されており、しかも前記一端部における前記支持部材は、その支持面上で前記保持台が自由に移動可能であるように支持しており、前記他端部における前記支持部材は、軸受を介して前記保持台に取り付けられていることにより、前記2つの駆動機構における差動動作により前記保持台の回転角度の微調整を可能にしたことを特徴とする直動機構を持つ処理容器を備えた処理装置。
IPC (2)：
FI (2)：
B01J 3/00 L
, B01J 19/12 B
