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J-GLOBAL ID：200903095076077750

表面形状認識センサ

Inventor： 糸魚川 貢一 ,  岩田 仁 ,  堀場 保
Applicant, Patent owner： 株式会社東海理化電機製作所
Agent (1)： 恩田 博宣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997277185
Publication number (International publication number)：1999121829
Application date： Oct. 09, 1997
Publication date： Apr. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】 物体表面の微小な凹凸を検知できる小型の表面形状認識センサを提供する。【解決手段】 表面形状認識センサ1は、検知部材2と、枠体3と、磁性部材4と表面保護膜5を備えている。検知部材2は薄板状に形成され、その上面に感磁素子6が設けられている。感磁素子6は検知部材2の上面に均一に位置するように設けられている。また、検知部材2は、その上面の幅方向及び長さ方向の一端に感磁素子6からの信号を取り出す信号取出しパッド7が設けられている。枠体3は、感磁素子6が設けられた領域を囲むように配設されている。磁性部材4は磁性体が均一に分散されている。磁性部材4及び表面保護膜5は、物体によって押圧されると、その物体の表面にある微小な凹凸に対応した形状に変形する材料で形成されている。

Claim (excerpt)：

磁性体が分散されるとともに物体に押圧されると該物体の表面形状に対応した形状に変形する磁性部材と、前記磁性部材での磁界の変化を検知する複数の検知部を有する検知部材とを、前記各検知部と前記磁性部材とが対向する状態となるように配置し、前記検知部を前記検知部材の前記磁性部材と対向する面に均一に位置するように設けたことを特徴とする表面形状認識センサ。

IPC (2)：

H01L 43/02 ,  G01B 7/28

FI (2)：

H01L 43/02 Z ,  G01B 7/28 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平1-254827
  
• 特開平3-250609
  
• 特開平2-291903