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J-GLOBAL ID：200903095078471863

X線像形成装置

Inventor： 原 民夫 ,  安藤 剛三 ,  青柳 克信
Applicant, Patent owner： 理化学研究所
Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993010196
Publication number (International publication number)：1994174660
Application date： Jan. 25, 1993
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：

【要約】【目的】 従来に較べて小型で低出力の励起レーザー装置を使用して実用的なX線強度を得ることができ、小型で実用性の高いX線像形成装置を提供する。【構成】 真空容器1内には、チタンターゲット2が設けられており、このチタンターゲット2の下方には、長波長光カット用のAl製のフィルタ3、試料4、X線検出手段として表面にX線レジスト層5を形成した基板6が設けられている。真空容器1外側には、パルス列YAGレーザー(Nd-YAGレーザー)7、レーザー光8を集光するレンズ9が設けられている。レーザー光8のパルス波形は、個々のパルスの幅が約100ps、パルスの間隔が約300psの16個のパルス列からなっている。

Claim (excerpt)：

励起レーザー装置からの励起レーザー光を集光し、真空容器内の固体ターゲットに照射してX線を発生させ、このX線を試料に照射して試料を透過または反射したX線を検出するX線像形成装置であって、前記励起レーザー装置は、各パルスのパルス幅が300ピコ秒以下、パルスの時間間隔が600ピコ秒以下で、パルス総数が3個以上のパルス列波形を有する励起レーザー光を射出するよう構成されていることを特徴とするX線像形成装置。