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J-GLOBAL ID：200903095084109254

電気用部材

Inventor：
伊藤 健二

About 伊藤 健二


Applicant, Patent owner：
株式会社半導体エネルギー研究所

About 株式会社半導体エネルギー研究所


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997227570
Publication number (International publication number)：1998183350
Application date： Mar. 02, 1988
Publication date： Jul. 14, 1998
Summary：
【要約】【課題】 保護膜として用いて剥離等のない炭素被膜を提供する。【解決手段】 一対の電極12と11との間に被形成面を配置し、例えば高周波供給電力を徐々に変化させることによって、被形成面から連続的にあるいは徐々に硬度を高くする。こうして、得られた炭素または炭素を主成分とする被膜は、被形成面から連続的にあるいは徐々に硬度の高い構造を有しており、被形成面との密着性に優れ、また同時に保護膜として硬度の高い膜となる。
Claim (excerpt)：
摺動により摩擦を生じる電気用部材において、前記電気用部材は炭素または炭素を主成分とする保護被膜を有しており、前記保護被膜はその表面に向かって連続的に硬度が増加し、前記保護被膜の表面はダイヤモンド類似の硬さを有するアモルファス構造であることを特徴とする電気用部材。
IPC (7)：
C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101 ,  C01B 31/04 101 ,  C23C 16/30 ,  C30B 29/04 ,  G11B 5/187 ,  G11B 5/72
FI (7)：
C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101 A ,  C01B 31/04 101 A ,  C23C 16/30 ,  C30B 29/04 Z ,  G11B 5/187 K ,  G11B 5/72
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
  • 特開昭60-184681
  • 特開昭62-157602
  • 特開昭61-073882
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