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J-GLOBAL ID：200903095132311346

極低温冷凍機

Inventor： 種谷 昭一 ,  三浦 和夫
Applicant, Patent owner： ダイキン工業株式会社
Agent (1)： 津田 直久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991224096
Publication number (International publication number)：1993060409
Application date： Sep. 04, 1991
Publication date： Mar. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】真空容器の内外を貫く操作部をもつジュールトムソン弁を廃止して、低コストで信頼性を向上できながら、最終ヒートステージ3の温度調節を良好に行う。【構成】真空容器10の内部における冷却器4の前段にオリフィス等による固定抵抗体5を介装して、冷却器4に供給する冷媒の圧力を下げてその温度を低下させ、真空容器10の外部における高圧配管21に圧力調節弁6を介装して、その調節により固定抵抗体5の入口圧力を変え、冷却器4に供給する冷媒温度を変更して最終ヒートステージ3の温度調節を行う。このように真空容器10の外部のみに操作部をもつ構造として、真空容器10のシール構造を簡易化かつ確実にした。

Claim (excerpt)：

真空容器10の内部に最終ヒートステージ3を冷却する冷却器4を配設したジュールトムソン回路20をもつ極低温冷凍機において、前記真空容器10の内部で、前記ジュールトムソン回路20における前記冷却器4の前段部に、前記冷却器4に供給する冷媒の圧力を下げる固定抵抗体5を介装すると共に、前記真空容器10の外部で、前記ジュールトムソン回路20における高圧配管21に、前記冷却器4に供給する冷媒の圧力を調節する圧力調節弁6を介装したことを特徴とする極低温冷凍機。