Pat

J-GLOBAL ID：200903095133601780

電極の製造方法およびその装置

Inventor： 清水 俊雄 ,  新村 忠 ,  齋藤 秀一 ,  西村 博司 ,  南山 隆幸
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993000723
Publication number (International publication number)：1994204563
Application date： Jan. 06, 1993
Publication date： Jul. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 この発明は簡単な構成で能率よく発光素子の電極形成部に電極物質を成膜することができるようにした電極の製造方法およびその装置を提供することにある。【構成】 プラズマ状態に励起された反応性ガスと化学反応して揮発した電極物質である金8を、基板11上にpn接合面が形成された発光素子10の電極形成部に供給して、前記電極物質を前記電極形成部に堆積させることを特徴とする電極の製造方法およびその装置にある。

Claim (excerpt)：

プラズマ状態に励起された反応性ガスと化学反応して揮発した電極物質を、基板上にpn接合面が形成された発光素子の電極形成部に供給して、前記電極物質を前記電極形成部に堆積させることを特徴とする電極の製造方法。