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J-GLOBAL ID：200903095185823837
吸着装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 弘一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007242699
Publication number (International publication number)：2009072850
Application date： Sep. 19, 2007
Publication date： Apr. 09, 2009
Summary：
【課題】吸着台上の被吸着物20を真空吸着して保持する吸着装置1において、凹凸がある被吸着物20でも確実に吸着するとともに、被吸着物20が置かれていない吸着孔19を確実に塞ぐようにする。【解決手段】 前記吸着台は、複数の吸引孔19を配し、近傍に光源14を配し、前記吸着孔19は、それぞれ電磁石5により開閉するバルブ機構8と、近傍にフォトセンサ15を配し、前記被吸着物20による前記光源14からの光の遮断を前記フォトセンサ15により検知して被吸着物20の有無を判定し、被吸着物20が置かれていないと判定したときは、前記電磁石5を駆動してバルブ機構8を塞ぐようにした。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
吸着台上の被吸着物を真空吸着して保持する吸着装置において、
前記吸着台は、複数の吸引孔を配し、近傍に光源を配し、
前記吸着孔は、それぞれ、電磁石により開閉するバルブ機構と、近傍に受光部を配し、
前記被吸着物による前記光源からの光の遮断を前記受光部により検知して被吸着物の有無を判定し、被吸着物がないと判定したときは、前記電磁石を駆動してバルブ機構を塞ぐようにしたことを特徴とする吸着装置。
IPC (1)：
FI (2)：
B25J15/06 E
, B25J15/06 B
3C007FS01
, 3C007FT13
, 3C007FU05
, 3C007KS09
, 3C007KS30
, 3C007KV12
, 3C007KX08
, 3C007NS12
