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J-GLOBAL ID：200903095188363594
回折光学素子を有した光学系
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997126336
Publication number (International publication number)：1998301026
Application date： Apr. 30, 1997
Publication date： Nov. 13, 1998
Summary：
【要約】【課題】 回折光学素子を用いたときの該回折光学素子の変形による光学特性の変化を補正した回折光学素子を有した光学系を得ること。【解決手段】 入射波面を所定の波面に変換する周期的構造を有する回折格子を基板面上に設けた回折光学素子と該回折光学素子を光学系中に配置したときの該回折光学素子の変形後の光学特性の変化を補正する為の補正用光学素子とを有していること。
Claim (excerpt)：
入射波面を所定の波面に変換する周期的構造を有する回折格子を基板面上に設けた回折光学素子と該回折光学素子を光学系中に配置したときの該回折光学素子の変形後の光学特性の変化を補正する為の補正用光学素子とを有していることを特徴とする回折光学素子を有した光学系。
IPC (2)：
FI (2)：
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