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J-GLOBAL ID：200903095199388599

画像素子及びその操作方法

Inventor： 大島 徹也 ,  辻 和隆 ,  矢口 富雄 ,  鈴木 睦三 ,  佐々木 進 ,  楠 敏明 ,  林 伸明 ,  大嶋 卓 ,  品田 博之 ,  黒田 勝広
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 薄田 利幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994238986
Publication number (International publication number)：1996106869
Application date： Oct. 03, 1994
Publication date： Apr. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】 冷陰極アレー部と陽極部の間を真空排気後も所定間隔に維持するために従来挿入した多数のスペーサをなくして漏洩電流を軽減することにより、高電圧の印加を可能にし、感度又は輝度の向上を図った画像素子を得る。【構成】 基板10上に冷陰極11、陰電極12、絶縁体13、ゲート電極14からなる冷陰極アレー部15を形成する。透光性基板20上に透光性陽電極21、光導電膜22、電子ビームランディング層23を順次堆積した陽極部25を形成する。陽極部25を4箇所のスペーサ30により冷陰極アレー部15に固定する。真空保持部材31に冷陰極アレー部と透光性窓32をフリットガラス34によりシールして一体化し、真空封止する。陽極部が真空保持部と分離されているので、陽極部は真空排気による応力がかからない。

Claim (excerpt)：

透光性の窓を少なくとも有する真空保持部と、該真空保持部内に、複数の電子ビーム放出源を有する陰極アレー部と、該陰極アレー部と対向してかつ陰極アレー部から発せられた電子ビームが入射する陽極部とを少なくとも有し、陰極アレー部から発し陽極部に入射する電子ビームを時間的に切り替えるように構成した画像素子において、前記陽極部と真空保持部とを分離して形成したことを特徴とする画像素子。

IPC (3)：

H01J 31/28 ,  H01J 29/04 ,  H01J 29/46