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J-GLOBAL ID：200903095246001703

マイクロメカニクス部材の製法及び加速度センサ

Inventor： ミヒャエル オッフェンベルク
Applicant, Patent owner： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993038253
Publication number (International publication number)：1994005883
Application date： Feb. 26, 1993
Publication date： Jan. 14, 1994
Summary：

【要約】【目的】 結合の質を損なうことなく、ウェーハを積層後にもなお調整して整合させることができるマイクロメカニクス部材の製法及び加速度センサ。【構成】 複数のシリコンウェーハを化学的な前処理、積層及び加熱によって結合し、この場合、少なくとも1つのウェーハの表面が窒化珪素からなる。

Claim (excerpt)：

マイクロメカニクス部材を、複数のシリコンウェーハ又はシリコンウェーハの部分を化学的な前処理、積層及び加熱によって相互に結合させて製造する方法において、少なくとも1つのシリコンウェーハの表面が窒化珪素からなることを特徴とする、マイクロメカニクス部材の製法。

IPC (3)：

H01L 29/84 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/318