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J-GLOBAL ID：200903095246746393

静電浮上装置

Inventor： 水野 毅
Applicant, Patent owner： セイコー精機株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993192596
Publication number (International publication number)：1995046869
Application date： Aug. 03, 1993
Publication date： Feb. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】 簡単な構成で浮上体の位置を高精度に制御する。【構成】 静電浮上装置は、浮上体10の変位を検出するセンサ11a、11bと、浮上体10を挟んで対向する位置に配設された電極12aa,12ab、12ba,12bbと、電極12aa,12ab、12ba,12bbに電圧を印加する電圧増幅器13a、13bと、前記センサ11a、11bからの検出信号の位相差を検出する位相比較器14と、この位相比較器14の出力を安定化して各電圧増幅器13a、13b供給するループフィルタ15とを備えている。このようにPLLを構成し、かつ電極12aa,12ab、12ba,12bbに印加する電圧を制御することにより、浮上体10を安定して浮上させる。

Claim (excerpt)：

浮上体を静電力によって浮上させる電極と、この電極に浮上電圧を供給する電圧供給手段と、前記浮上体の位置に応じた周波数の信号を出力するセンサと、このセンサからの出力信号の位相に応じて、前記電圧供給手段から前記電極に供給する浮上電圧を制御して、前記浮上体の位置を制御する位置制御手段とを具備することを特徴とする静電浮上装置。

IPC (3)：

H02N 13/00 ,  B65G 54/02 ,  F16C 32/04