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J-GLOBAL ID：200903095252365520

光伝達機構および露光装置

Inventor： 稲垣 幸彦
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 福島 祥人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995304216
Publication number (International publication number)：1997146280
Application date： Nov. 22, 1995
Publication date： Jun. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】 大型化することなく、外部からの曲げ作用による光伝達部材の破断を防止することが可能な光伝達機構および露光装置を提供することである。【解決手段】 光照射装置40の出射口43に固定金具8が取り付けられる。固定金具8の凹部8aにはベアリング3が挿入される。ベアリング3の内側にはライトガイド入射端金具1が挿入される。ベアリング3は押え板5によって引抜き防止が図られている。ライトガイド2は、ベアリング3によって回動自在に支持される。ライトガイド2が外部から曲げやねじりの力を受けると、ベアリング3が回転し、ライトガイド2への曲げ応力の作用が吸収される。

Claim (excerpt)：

光源の光出射部から出射される光を伝達する光伝達部材を備えた光伝達機構において、前記光伝達部材の一方端部を前記光源の前記光出射部に回動可能に連結する連結手段を備えたことを特徴とする光伝達機構。

IPC (4)：

G03F 7/20 521 ,  G02B 6/00 331 ,  G02B 26/08 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/20 521 ,  G02B 6/00 331 ,  G02B 26/08 F ,  H01L 21/30 577