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J-GLOBAL ID：200903095265186293

強誘電体の分域壁観測装置

Inventor： 安達 日出夫
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991256301
Publication number (International publication number)：1993102272
Application date： Oct. 03, 1991
Publication date： Apr. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明は、測定によって分域壁の移動が生じない状態で分域壁の位置、特に電極から滲み出た分域壁の位置を検出できる分域観測装置を提供することを目的とする。【構成】本発明は、移動可能な試料台に載置された強誘電体を含むサンプルにレーザビームを照射し被照射部に発生する電荷を導通端子を介して取込み、極性を判別する電圧極性判別回路46若しくは、参照電荷発生部39,40からの参照電荷に基づき、働く引力により発生電荷の極性を検出する探針36が設けられ、前記試料台によりX軸,Y軸の位置信号を得て、検出された発生電荷の極性に基づき出力極性反転回路23が駆動して、Z軸の位置信号を得て各軸の信号から分域壁位置を検出することができる強誘電体の分域壁観測装置である。

Claim (excerpt)：

強誘電体を含む被検体の所望する極小領域に瞬時に温度変化を与える温度変化印加手段と、前記温度変化印加手段による前記被検体の極小領域の温度変化により、焦電効果を介して、該微小領域の表面に発生する電荷の極性を検出する電荷極性検出手段と、前記電荷極性検出手段を所望領域内で走査させる走査手段と、前記極性検出手段により検出された電荷極性と前記走査手段から得られた位置情報とから、被検体の分極及び分域壁を特定する分域壁位置特定手段とを具備することを特徴とする強誘電体の分域壁観測装置。

IPC (5)：

H01L 21/66 ,  G01N 27/60 ,  G11B 9/02 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792