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J-GLOBAL ID:200903095272365721

斜光照明装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 山口 孝雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994332992
Publication number (International publication number):1996166514
Application date: Dec. 14, 1994
Publication date: Jun. 25, 1996
Summary:
【要約】【目的】 小さな入射角で被検物体を斜めから照明することのできる斜光照明装置を提供すること。【構成】 本発明においては、対物レンズ1を介して物体9の光学像を検出する光学機器のための照明装置において、前記対物レンズ1の光軸から離れた対物レンズ周縁部を介して、前記物体9に向かって照明光を斜入射するための複数の斜光照明手段を備えている。
Claim (excerpt):
対物レンズを介して物体の光学像を検出する光学機器のための照明装置において、前記対物レンズの光軸から離れた対物レンズ周縁部を介して、前記物体に向かって照明光を斜入射するための複数の斜光照明手段を備えていることを特徴とする斜光照明装置。
IPC (2):
G02B 6/00 331 ,  G02B 21/06
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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