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J-GLOBAL ID：200903095272390033

ネガ型感光性樹脂組成物およびそのパターン形成方法

Inventor： 番場 敏夫 ,  指田 暢幸 ,  山本 光弘 ,  竹田 直滋
Applicant, Patent owner： 住友ベークライト株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992284722
Publication number (International publication number)：1994214390
Application date： Oct. 22, 1992
Publication date： Aug. 05, 1994
Summary：

【要約】【構成】 ポリアミド酸のカルボキシル基に単又は多官能の感光性基、さらに低級アルコールを共有結合で導入したポリアミド酸エステル、グリシン化合物、スチリル化合物およびナフトキノンジアジド化合物と光重合開始剤からなるネガ型感光性樹脂組成物。【効果】 高感度でかつ高解像度を有するネガ型のパターンが得られる。

Claim (excerpt)：

(A)下記式(1)で示されるポリアミド酸エステルと【化1】(B)下記式(2)で示されるグリシン化合物と【化2】(式中、R7:-H、-CH3、-C2H5、-C6H5、-OCH3、-OCOCH3、-OC2H5、-OCOC2H5、-N(CH3)2、-N(C2H5)2、-NHCOOCH3、-COCH3、-COC2H5、-NHCONH2、-CH2OH、-OH、-CH(CH3)2、-C(CH3)3 )(C)下記式(3)で示されるスチリル化合物及び【化3】(D)ナフトキノンジアジド化合物を必須成分とすることを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。

IPC (8)：

G03F 7/038 504 ,  C08K 5/16 ,  C08K 5/19 ,  C08K 5/28 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-120543
  
• 特開平3-170549
  
• 特開平3-210361
  
• 特開平3-241356