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J-GLOBAL ID：200903095278487071

液晶配向膜の形成方法

Inventor： 平本 廣幸
Applicant, Patent owner： スタンレー電気株式会社
Agent (1)： 高橋 敬四郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991175115
Publication number (International publication number)：1993019265
Application date： Jul. 16, 1991
Publication date： Jan. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、液晶分子を所定の方向に配向させるための配向膜を形成する方法に係わり、均一で薄い液晶配向膜を比較的簡単な装置によって形成する方法を提供することを目的とする。【構成】 ポリイミドないしポリイミド前駆体を溶媒に溶かした溶剤(3)をスピンコート法により基板(1)面に塗布する工程と、前記溶剤が塗布された基板面を所定の遮光パターン(11)を有するマスク(7)下で遠紫外光に露光し、前記パターンで遮蔽された部分以外の遠紫外光に露光された部分(9)の前記溶剤を灰化して除去し、前記パターンで遮蔽された部分(8)にポリイミド膜を生成する工程と、生成したポリイミド膜表面をラビングして配向膜を形成する工程とを含む。

Claim (excerpt)：

ポリイミドないしポリイミド前駆体を溶媒に溶かした溶剤をスピンコート法により基板面に塗布する工程と、前記溶剤が塗布された基板面を所定の遮光パターンを有するマスク下で遠紫外光に露光し、前記遮光パターンで遮蔽された部分以外の遠紫外光に露光された部分の前記溶剤を灰化して除去し、前記遮光パターンで遮蔽された部分にポリイミド膜を生成する工程と、生成したポリイミド膜表面をラビングして配向膜を形成する工程とを含む液晶配向膜の形成方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭63-191129
  
• 特開昭60-207117
  
• 特開昭58-159519