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J-GLOBAL ID：200903095295687203
液晶表示装置用アレイ基板
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
樺澤 襄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993216045
Publication number (International publication number)：1995066422
Application date： Aug. 31, 1993
Publication date： Mar. 10, 1995
Summary：
【要約】【目的】 ゲート電極および配線が虫喰い状にならない液晶表示用アレイ基板を提供する。【構成】 ガラス基板1上にアルミニウム膜を堆積し、フォトリソグラフィーおよびエッチングにより第1層のゲート電極および配線2を形成する。この第1層のゲート電極および配線2上に、モリブデン膜、耐薬品性の強い高融点金属であるモリブデン・タンタル合金膜を順次積層し、第2層および第3層のゲート電極および配線3,16を同時に形成する。第1層のゲート電極および配線2と、第2層のゲート電極および配線3をそれぞれ別個にエッチングして形成し、虫喰い状のパターンの発生を防止する。ガラス基板1の温度を上昇させても、モリブデンの応力緩和作用により、アルミニウムの膨れを防止する。アルミニウムを耐薬品性の強い金属で覆ったので、ゲ-ト電極および配線4を低抵抗で耐薬品性を強くできる。
Claim (excerpt)：
絶縁性基板上に形成されたゲート電極および配線と、このゲート電極上にゲート絶縁膜を介して形成された半導体膜と、この半導体膜に接して形成されたソース電極およびドレイン電極とを有する薄膜トランジスタを備えた液晶表示装置用アレイ基板において、前記ゲート電極および配線の少なくとも一部は、アルミニウムおよびアルミニウム合金のいずれかにてエッチング形成された第1層と、この第1層上にこの第1層を覆うようにこの第1層とは別個にエッチング形成されたモリブデンからなる第2層と、この第2層上に形成され耐薬品性に優れた高融点金属膜からなる第3層とを具備したことを特徴とする液晶表示装置用アレイ基板。
IPC (3)：
H01L 29/786
, G02F 1/136 500
, H01L 29/40
