Pat

J-GLOBAL ID：200903095311483974

基板保持装置及び露光装置

Inventor： 近藤 誠
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 前田 均 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002054004
Publication number (International publication number)：2003258071
Application date： Feb. 28, 2002
Publication date： Sep. 12, 2003
Summary：

【要約】【課題】 基板保持に伴う静電気を確実に放電する。【解決手段】 基板を保持するため該基板の裏面の一部に当接する非金属材料からなる保持部材14と、前記保持部材がその先端部に接着固定された金属材料からなる台座部材12A〜12Cと、前記保持部材と前記台座部材とに渡って貼着された柔軟性を有する導電性部材17とを備え、前記保持部材の前記導電性部材が貼着される部分を研磨加工する。

Claim (excerpt)：

基板を保持するため該基板の裏面の一部に当接する非金属材料からなる保持部材と、前記保持部材がその先端部に接着固定された金属材料からなる台座部材と、前記保持部材と前記台座部材とに渡って貼着された柔軟性を有する導電性部材とを備え、前記保持部材の少なくとも前記導電性部材が貼着される部分を研磨加工したことを特徴とする基板保持装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3)：

H01L 21/68 P ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 C

F-Term (10)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA13 ,  5F031HA33 ,  5F031MA27 ,  5F031PA14 ,  5F031PA21 ,  5F031PA26 ,  5F046CC08