金属酸化物ナノ微粒子の製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：社本一夫 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002107805
Publication number (International publication number)：2003306319
Application date： Apr. 10, 2002
Publication date： Oct. 28, 2003
Summary：

【要約】【課題】従来の金属酸化物ナノ微粒子の製造方法における限界を克服するものである。従来のものとは異なり、結晶構造や化学量論性が十分に制御され、また、不純物の混入が極めて少ない金属酸化物ナノ微粒子を、実験条件選択の自由度が高いレーザーアブレーション法を利用して室温で製造する方法である。【解決手段】 10mTorr〜大気圧の圧力に制御された不活性ガス、酸素、あるいは両者の混合ガス雰囲気中において、原料となる固体材料にレーザー光を照射することにより、それをプラズマ状に蒸発させた後、この状態の系を該雰囲気で断熱的に冷却するという工程から成る金属酸化物ナノ微粒子の製造方法。原料となる固体材料が、金属または金属酸化物であり、レーザー光が、紫外、可視、または赤外域にスペクトルを有するものであり、不活性ガスが、ヘリウム、アルゴン等の希ガスである。

Claim (excerpt)：

レーザーアブレーション法により、粒径が100nm以下の金属酸化物ナノ微粒子を室温で製造する方法。

IPC (3)：

C01B 13/28 , B82B 3/00 , C01G 23/04

FI (3)：

C01B 13/28 , B82B 3/00 , C01G 23/04 Z

F-Term (11)：

4G042DA01 , 4G042DB16 , 4G042DB17 , 4G042DC03 , 4G042DD04 , 4G042DE03 , 4G042DE12 , 4G047CA02 , 4G047CB04 , 4G047CC03 , 4G047CD04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開平2-175601
特開平2-175601

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

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