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J-GLOBAL ID：200903095334257238

摺動面部材及びその成膜装置

Inventor： 外崎 峰広
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 田辺 恵基
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996132814
Publication number (International publication number)：1997298097
Application date： Apr. 30, 1996
Publication date： Nov. 18, 1997
Summary：

【要約】【課題】本発明は、摺動面部材及び成膜装置に関し、テープの摺動に適した硬度及び摩擦係数を備えると共に、静電気を帯電させないようにする。【解決手段】テープに摺動される摺動面部材において、導電性膜(7)及び、当該導電性膜(7)に比して硬度の高い膜(8)を交互に基板(5A)上に積層するもので、なおかつ最外殻層を導電性膜(7)としたことにより、導電性を有すると共に、耐磨耗性の高い摺動面部材(9)を形成し得る。

Claim (excerpt)：

テープに摺動される摺動面部材において、導電性膜及び、当該導電性膜に比して硬度の高い膜を交互に基板上に積層するもので、なおかつ最外殻層を上記導電性膜としたことを特徴とする摺動面部材。

IPC (3)：

H05F 1/02 ,  C23C 14/06 ,  H05F 3/02

FI (3)：

H05F 1/02 E ,  C23C 14/06 F ,  H05F 3/02 F