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J-GLOBAL ID：200903095343438164

照明装置

Inventor： 岩城 忠雄 ,  船浪 雪弥 ,  光岡 靖幸 ,  笠間 宣行
Applicant, Patent owner： セイコー電子工業株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995057824
Publication number (International publication number)：1996254699
Application date： Mar. 16, 1995
Publication date： Oct. 01, 1996
Summary：

【要約】【目的】 小型で、高い光学波長フィルタリング特性を有し、かつ、光利用効率が高く、ビーム成形作用をも有する、投影装置や露光装置に用いられる照明装置を提供することを目的とする。【構成】 少なくとも光源とロッドインテグレータとからなり、当該ロッドインテグレータの少なくとも入射端面と出射端面とを除く反射面の一部または全面に光学フィルタが形成された構成である。【効果】 少ない光学部品でより高い光学波長フィルタリング特性を実現でき、そのために本発明の照明装置を用いた光学機械はノイズが少なく、コンパクトな構成とすることができるという効果を有する。

Claim (excerpt)：

少なくとも光源とロッドインテグレータとからなる照明装置において、当該ロッドインテグレータの少なくとも入射端面と出射端面とを除く反射面の一部または全面に光学フィルタが形成されていることを特徴とする照明装置。

IPC (2)：

G02F 1/1335 530 ,  G02F 1/13 505

FI (2)：

G02F 1/1335 530 ,  G02F 1/13 505