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J-GLOBAL ID：200903095354427636

除振装置

Inventor： 間山 武彦
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000084188
Publication number (International publication number)：2001271868
Application date： Mar. 24, 2000
Publication date： Oct. 05, 2001
Summary：

【要約】【課題】 防振支持手段が有する除振性能、振動絶縁性能、高剛性等のメリットを損なうことなく、除振台の位置や姿勢を安定かつ再現性よく維持できるようにする。【解決手段】 機器を搭載する除振台1の振動を低減しながら除振台を基礎7上で支持する防振支持手段2を備えた除振装置において、防振支持手段と除振台または基礎との間に、それらの間の相対変位を調整する、外部からの作用力によっては有意な変位を生じない高い剛性を有する変位調整機構3を設け、除振台1と基礎7との相対変位を検出する検出手段4と、その検出信号に適切な補償演算を施して出力する補償手段5と、該出力信号に基いて前記変位調整機構を駆動する駆動回路6を備え、除振台1の位置・姿勢を所定の状態に維持する。

Claim (excerpt)：

機器を搭載する除振台の振動を低減しながら前記除振台を基礎上で支持する防振支持手段を備えた除振装置において、前記防振支持手段と除振台または基礎との間に、それらの間の相対変位を調整する変位調整機構を具備し、この変位調整機構は外部からの作用力によっては有意な変位を生じない高い剛性を有することを特徴とする除振装置。

IPC (5)：

F16F 15/02 ,  F16F 15/04 ,  G12B 9/08 ,  H01L 21/027 ,  H02N 2/00

FI (6)：

F16F 15/02 A ,  F16F 15/04 A ,  F16F 15/04 F ,  G12B 9/08 B ,  H02N 2/00 B ,  H01L 21/30 503 F

F-Term (12)：

2F078EA30 ,  2F078EB02 ,  3J048AA03 ,  3J048AB08 ,  3J048BA08 ,  3J048BG04 ,  3J048DA01 ,  3J048EA07 ,  3J048EA13 ,  5F046AA23 ,  5F046BA05 ,  5F046DB05