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J-GLOBAL ID：200903095377010384
ウエハ加熱装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997045574
Publication number (International publication number)：1998242252
Application date： Feb. 28, 1997
Publication date： Sep. 11, 1998
Summary：
【要約】【課題】ウエハ支持盤と支持筒とが強固に接合され、優れた気密性を有するとともに、パーティクル汚染の少ないウエハ加熱装置を提供する。【解決手段】ウエハ保持装置1を構成する抵抗発熱体4を内蔵したウエハ保持盤2と、該ウエハ保持盤2を処理室30内に設置する支持筒7の両者を窒化アルミニウム質焼結体により形成するとともに、これらを窒化アルミニウムを主成分とし、希土類酸化物を含んでなる接合層9を介して焼成し、上記接合層9の希土類成分をウエハ保持盤2及び支持筒7を構成する窒化アルミニウム質焼結体に拡散させた状態で接合一体化する。
Claim (excerpt)：
抵抗発熱体を内蔵してなるウエハ保持盤と、該ウエハ保持盤を処理室内に設置する支持筒の両者を窒化アルミニウム質焼結体により形成するとともに、これらウエハ保持盤と支持筒とを、窒化アルミニウムを主成分とし、希土類酸化物を含んでなる接合層を介して焼成し、上記接合層の希土類成分がウエハ保持盤及び支持筒を構成する窒化アルミニウム質焼結体に拡散した状態で接合一体化せしめたことを特徴とするウエハ加熱装置。
IPC (7)：
H01L 21/68
, C04B 37/00
, C23C 14/50
, C23F 4/00
, H01L 21/203
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
H01L 21/68 N
, C04B 37/00 A
, C23C 14/50 E
, C23F 4/00 Z
, H01L 21/203 S
, H01L 21/205
, H01L 21/302 B
Cited by examiner (6)
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