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J-GLOBAL ID：200903095381463504

金属酸化物薄膜パターン形成用組成物およびその形成方法

Inventor： 曽山 信幸 ,  佐々木 剛 ,  厚木 勉 ,  米澤 政 ,  小木 勝実
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 重野 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994060898
Publication number (International publication number)：1995268637
Application date： Mar. 30, 1994
Publication date： Oct. 17, 1995
Summary：

【要約】【構成】 加水分解性有機金属化合物(例、金属アルコキシド)および金属ハロゲン化物から選ばれた1種もしくは2種以上の加水分解金属化合物と、活性線照射により水を遊離する水発生剤(例、2-ニトロエタノール)と、場合によっては活性線照射により酸を遊離する酸発生剤(例、オニウム塩)とを含有する溶液に微粒子を分散させる。この分散液を基板上に塗布し、得られた感光性塗膜に画像形成用の活性線照射を行った後、水またはアルコール系溶媒で現像して未露光部を除去し、基板を熱処理して残留する塗膜を金属酸化物に変換させることにより、ネガ型の金属酸化物薄膜パターンを形成する。【効果】 レジスト不要の少ない工程数で効率よく低コストでネガ型の鮮明な金属酸化物薄膜パターンを形成できる。現像は水またはアルコールで安全に実施できる。微粒子を添加しない場合に比べ、活性線の照射エネルギー量を少なくできる。また、加水分解性金属化合物の使用量の低減も可能である。

Claim (excerpt)：

加水分解性金属化合物と、活性線の照射により水を遊離する感光剤と、を含有する溶液中に、酸化物又は焼成により酸化物となる物質の微粒子を分散させてなる金属酸化物薄膜パターン形成用組成物。

IPC (3)：

C23C 18/12 ,  G02F 1/1343 ,  C23C 18/14