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J-GLOBAL ID：200903095404410829

ワイヤーソーのワイヤー案内装置

Inventor： 片町 省三
Applicant, Patent owner： 株式会社東京精密
Agent (1)： 松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994003573
Publication number (International publication number)：1995205017
Application date： Jan. 18, 1994
Publication date： Aug. 08, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】ワイヤの繰出し位置の偏位を検知する検知手段を必要とせずにリールからワイヤを正しく繰り出し、且つ所定ピッチで巻き取る。【構成】リール26の長手方向に平行に、リニアモータスケール60及び一対のレール62が配設され、リニアモータスライダ64は、リニアモータスケール60を駆動するとレール62に沿って往復走行し、駆動を解除するとスライド自在な状態に維持される。リニアモータスライダ64には、ワイヤ14を案内するガイドローラ68と転換ローラ70が設けられ、ワイヤ張力によるスライド力F1 が与えられると共に定力発生器72により、F1 と同じ大きさの付勢力F2 が与えられる。ワイヤ14を繰り出す時には、リニアモータスケール60を駆動を解除し、巻き取る時には駆動させる。

Claim (excerpt)：

一方のリールと他方のリールの間を走行するワイヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記リールからワイヤーを繰り出す際にリールの長手方向に沿って偏位するワイヤーの繰出し位置に応じてワイヤーがリールの長手方向に対して略直角に繰り出されるように案内するワイヤーソーのワイヤー案内装置に於いて、前記ワイヤー案内装置は、前記リールの長手方向に平行に配設されたガイド部材と、前記ガイド部材にスライド自在に設けられた走行体と、前記走行体に設けられ、前記リールから延びたワイヤーを支持すると共に前記ガイド部材に沿って方向転換させて、前記走行体にワイヤーの張力によるスライド力を与える方向転換部材と、前記スライド力を相殺する方向に前記走行体を付勢する付勢手段と、から成り、前記ワイヤーの繰出し位置の偏位によって発生する偏位力により前記走行体をスライドさせることを特徴とするワイヤーソーのワイヤー案内装置。

IPC (4)：

B24B 27/06 ,  B28D 5/04 ,  B65H 54/28 ,  H01L 21/304 311