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J-GLOBAL ID：200903095414577233

X線発生装置

Inventor：
近藤 洋行

About 近藤 洋行

, 
小松田 秀基

About 小松田 秀基


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998266130
Publication number (International publication number)：2000098094
Application date： Sep. 21, 1998
Publication date： Apr. 07, 2000
Summary：
【要約】【課題】 赤外域、可視域から紫外域にわたる広範囲の光を著しく減衰させることが可能であり、使用波長のX線を極力減衰させずに取り出すことができるX線発生装置を提供すること。【解決手段】 放射光リングから輻射されたX線を取り出して利用する、或いは減圧された真空容器100内に配置された標的物質105にパルスレーザー光101を照射して該標的物質105をプラズマ化し、該プラズマ106から輻射されたX線111を取り出して利用するX線発生装置において、微小開口または微小開口群を有する光学部材109を、該微小開口または該微小開口群が前記放射光リングまたはプラズマから輻射された使用X線の光路中(真空容器100内)に位置するように設置して、該光学部材109により使用X線111を取り出すことを特徴とするX線発生装置。
Claim (excerpt)：
放射光リングから輻射されたX線を取り出して利用する、或いは減圧された真空容器内に配置された標的物質にパルスレーザー光を照射して該標的物質をプラズマ化し、該プラズマから輻射されたX線を取り出して利用するX線発生装置において、微小開口または微小開口群を有する光学部材を、該微小開口または該微小開口群が前記放射光リングまたはプラズマから輻射された使用X線の光路中(真空容器内)に位置するように設置して、該光学部材により使用X線を取り出すことを特徴とするX線発生装置。
IPC (2)：
G21K 3/00 ,  H05G 2/00
FI (2)：
G21K 3/00 Z ,  H05G 1/00 K
F-Term (6)：
4C092AA06 ,  4C092AA07 ,  4C092AA14 ,  4C092AB21 ,  4C092AC08 ,  4C092AC09
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)
  • 透過型X線フィルタ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-154301   Applicant：株式会社ニコン
  • X線発生装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-327095   Applicant：日本電信電話株式会社
  • 気相反応分析装置および気相反応方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-016594   Applicant：日本電信電話株式会社

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