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J-GLOBAL ID:200903095429786203
マイクロアクチュエータ
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992152039
Publication number (International publication number):1993346105
Application date: Jun. 11, 1992
Publication date: Dec. 27, 1993
Summary:
【要約】【目的】 ピストン-シリンダー機構をマイクロ化する。【構成】 一端が密閉されたシリンダー2と、シリンダー内を往復動可能に配置されたロッド3を備え、ロッドの外周面の一部を流体に対してぬれ性を高く形成し、他の部分を流体に対してぬれ性を低く形成し、シリンダーとロッド間に流体1を注入し、密閉された側のシリンダーの空間の圧力を増減する圧力調整手段4,5を設けたマイクロアクチュエータ。
Claim (excerpt):
一端が密閉されたシリンダー、シリンダー内を往復動可能に配置されたロッド、シリンダーとロッド間に注入された流体、前記密閉された側の空間圧力を増減する圧力調整手段、を備え、前記ロッドは、その外周面の一部が流体に対して濡れ性を高く形成され、他の部分が流体に対して濡れ性を低く形成されたことを特徴とするマイクロアクチュエータ。
IPC (4):
F15B 15/14 365
, F15B 15/14 345
, F16J 1/00
, F16J 10/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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特開昭56-113806
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特公昭51-021523
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特開昭60-065901
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