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J-GLOBAL ID：200903095440352843

フィードバック制御差動ファイバ干渉計

Inventor： マーティン・ノンネンマッカー ,  メヒディ・バゾ-イラバニ ,  エマンサ・クマー・ウィクラマシンジャ
Applicant, Patent owner： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
Agent (1)： 頓宮 孝一 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993028758
Publication number (International publication number)：1994042909
Application date： Feb. 18, 1993
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 低ドリフトで、特に変位測定に適し、かつ、AC、DC、及び疑似DCの次元変化の検出精度が高い光学式干渉計を提供する。【構成】 テレスコープ・レンズ系24が第1、第2のファイバ16,20からの光ビームを物体に集束させ、その反射を受けて逆方向に伝送する。物体は、反射した光ビームの位相を変調するように、第1周波数で振動させられる。カプラ18の入力側に位置する光センサ40が、第2ファイバ20に現われる反射した光エネルギを電気信号に変換する。反射エネルギは、第1、第2ファイバ16,20からの光エネルギを含む。第1検出器42がセンサ40の電気出力に応答して、反射した光エネルギ間の位相差に比例した信号を生成する。センサ40と第2ファイバ20の間に第2フィードバック検出器44が接続され、これが第2ファイバ20の光信号の位相を調整し、第2ファイバ20の環境変動を補償する。

Claim (excerpt)：

第1及び第2の光ファイバ手段と、上記第1及び第2の光ファイバ手段の間で光信号を相互に接続するために入力端と出力端を有し、上記光ファイバ手段が貫通する接続手段と、上記第1及び第2のファイバ手段からの光エネルギを物体の、物理的に離れた点に集束させ、上記物体上の上記物理的に離れた点から反射した光エネルギを上記第1及び第2のファイバ手段に伝えるレンズ手段と、上記物体を第1周波数で物理的に振動させる手段と、上記接続手段の入力側に現われ、上記第1及び第2の両方の光ファイバ手段から反射した光エネルギを含む、上記第2ファイバ手段の光エネルギを電気信号に変換するセンサ手段と、上記電気信号に反応して、上記第1及び第2の光ファイバ手段から反射した上記光エネルギの間の位相差に関係する出力を生成する第1検出器手段と、上記センサ手段と上記第2ファイバ手段との間に接続され、上記第2ファイバ手段の光信号の位相を調整して、上記第2ファイバ手段の環境変動による位相変化を補償する第2検出器手段とを含む、ファイバ干渉計。

IPC (3)：

G01B 9/02 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-191805
  
• 特開昭61-288102
  
• 特開昭63-188704