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J-GLOBAL ID：200903095475710181

近接場顕微装置用探針の作製法

Inventor： 石橋 雅義 ,  木口 雅史 ,  谷口 彬雄 ,  加藤 美登里
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996064101
Publication number (International publication number)：1997257815
Application date： Mar. 21, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】【課題】開口径を制御した近接場顕微装置用探針を容易に作製する。【解決手段】導光性ファイバー1をメッキ液3を入れた容器4に底面のシリコンゴム2に重り6で負荷量を調節して接触し、無電解メッキで金属被覆する。

Claim (excerpt)：

先端の形状を加工した導光性ファイバーに金属を無電解メッキ法により被覆することを特徴とする近接場顕微装置用探針の作製法。

IPC (2)：

G01N 37/00 ,  G11B 7/22

FI (2)：

G01N 37/00 E ,  G11B 7/22