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J-GLOBAL ID：200903095500903763

プラズマディスプレイパネルの製造方法

Inventor： 森谷 宏一 ,  湯原 章綱 ,  太田 康博
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998225612
Publication number (International publication number)：2000057939
Application date： Aug. 10, 1998
Publication date： Feb. 25, 2000
Summary：

【要約】【課題】対向3電極面放電型AC型プラズマディスプレイパネルにおいて、誘電体層を保護するための保護膜に起因する放電特性の変化を抑制し、表示の安定化を図る。【解決手段】保護膜の形成後に、保護膜表面をプラズマ処理することで、保護膜表層に形成される炭化による変質層を除去し清浄化する。以上により、表示の安定化を図る。

Claim (excerpt)：

ガス空間を挟んで対向配置する基板において、一方の前面板には誘電体層により被覆された複数のX電極及びY電極からなる表示電極と該誘電体層を被覆する保護膜を形成し、他方の背面板には前記表示電極と直交する方向にアドレス電極,隔壁,蛍光体を形成したプラズマディスプレイパネルにおいて、該保護膜の成膜後の前面板に、プラズマ処理を行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。

IPC (3)：

H01J 9/02 ,  H01J 11/00 ,  H01J 11/02

FI (3)：

H01J 9/02 F ,  H01J 11/00 K ,  H01J 11/02 B

F-Term (7)：

5C027AA05 ,  5C027AA10 ,  5C040AA04 ,  5C040AA07 ,  5C040BB04 ,  5C040BB18 ,  5C040DD11