Pat

J-GLOBAL ID：200903095522704810

加工用電極

Inventor： 森 勇藏
Applicant, Patent owner： 森 勇藏 ,  株式会社ユーハ味覚糖精密工学研究所
Agent (1)： 柳野 隆生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991074465
Publication number (International publication number)：1993234942
Application date： Mar. 13, 1991
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】 切断加工及び鏡面加工を行うに際しても、加工領域の全域へ常に一定量の反応ガスを供給でき、又は反応ガスに基づく一定密度の中性ラジカルを供給できる加工用電極である。【構成】 電極に直流電圧若しくは交流電圧を印加し、その電界によって反応ガスに基づく中性ラジカルを生成し、該中性ラジカルと被加工物を構成する原子又は分子とのラジカル反応によって生成した揮発性物質を気化させて除去し、加工を進行させてなる無歪精密加工装置の加工用電極の内部に、加工面側へ開口した反応ガスを含む雰囲気気体を供給するガス供給路を設けた。

Claim (excerpt)：

電極に直流電圧若しくは交流電圧を印加し、その電界によって反応ガスに基づく中性ラジカルを生成し、該中性ラジカルと被加工物の加工面を構成する原子又は分子とのラジカル反応によって生成した揮発性物質を気化させて除去し、加工を進行させてなる無歪精密加工装置の加工用電極において、内部に加工面側へ開口した反応ガスを含む雰囲気気体を供給するガス供給路を設けたことを特徴とする加工用電極。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-010700
  
• 特開平1-125829
  
• 特開昭63-124528