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J-GLOBAL ID：200903095524758519
共焦点検出器による距離測定方法及びプロキシミティ露光装置におけるマスクとワークの距離測定方法。
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992283596
Publication number (International publication number)：1994120107
Application date： Sep. 30, 1992
Publication date： Apr. 28, 1994
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】測定する物体の距離を他の物体に何ら接触させることなく簡単に測定できる方法を提供する。また、プロキシミティ露光装置ではマスクとウエハーのギャップを測定する。【構成】共焦点検出器10からの出射光を物体X及び物体Yに照射させながら、共焦点検出器10を矢印の方向に移動させ、物体とピントがあった時に反射光をピンホール13を介して光検出器16に受光する。
Claim (excerpt)：
共焦点検出器からの出射光を第1の物体及び第2の物体に照射させながら、共焦点検出器と第1の物体及び第2の物体の距離を変化させ、第1の物体及び第2の物体の各々における反射光を、共焦点検出器が有する光検出器で検知して、距離の変化と光量の関係から、第1の物体と第2の物体間の距離を測定することを特徴とする共焦点検出器による距離測定方法。
IPC (4)：
H01L 21/027
, G01B 11/14
, G03F 1/08
, G03F 7/20
Cited by examiner (7)
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